سيمي ڪنڊڪٽر گيس ڊليوري سسٽم لاءِ اعليٰ ڪارڪردگي وارا IGS سرفيس ماؤنٽ سي سيل فلٽر
وضاحت
HENGKO سرفيس ماؤنٽ فلٽر سيمي ڪنڊڪٽر OEM ٽولز ۾ استعمال ٿيندڙ انٽيگريٽڊ گيس سسٽم جي گهربل گهرجن کي پورو ڪرڻ لاءِ ٺاهيا ويا آهن. 0.003 µm تي انڊسٽري جي معروف فلٽريشن پيش ڪندي، اهي فلٽر 120 slpm تي ≥99.9999999٪ (9-LRV) جي پارٽيڪل انٽرسيپشن ڪارڪردگي سان غير معمولي ڪارڪردگي ۽ اعتبار کي يقيني بڻائين ٿا.
فلٽر عنصر ۽ هائوسنگ لاءِ مضبوط 316L اسٽينلیس اسٽيل پائوڊر سان ٺهيل، اهي فلٽر SEMI F86-0304 وضاحتن سان مطابقت رکن ٿا، جن ۾ 1.125 انچ گيس ورهائڻ واري نظام لاءِ سي-سيل ترتيب سان ٺهيل ٻه-پورٽ حصا شامل آهن. اهي 100°C تي 3.4 MPa جي وڌ ۾ وڌ انليٽ پريشر ۽ 100°C تي 0.69 MPa جي وڌ ۾ وڌ آپريٽنگ پريشر فرق کي سپورٽ ڪن ٿا.
اهي خاص فلٽر، سي-قسم ۽ ڊبليو-قسم جي سيل جي وضاحتن سان مطابقت رکن ٿا، ذرڙن جي ڇڏڻ سان هيٺئين وهڪري جي صفائي حاصل ڪن ٿا.
را جي مٿاڇري جي ختم سانٻاهرين پاسي < 1.6 µm ۽ Raاندروني طور تي 0.13 µm کان گهٽ، اهي 460 ° C تائين تيز گرمي پد کي برداشت ڪرڻ لاءِ ٺهيل آهن. آسان انضمام ۽ ماڊيولر ڊيزائن اپ گريڊ لاءِ انجنيئر ٿيل، اهي فلٽر تنصيب ۽ سار سنڀال کي آسان بڻائين ٿا، سيمي ڪنڊڪٽر گئس پهچائڻ ۽ ڪنٽرول ايپليڪيشنن ۾ سسٽم جي ڪارڪردگي کي بهتر بڻائڻ ۾ مدد ڪن ٿا.
پيداوار جي خاصيت
▶ مجموعي طور تي 316L اسٽينلیس سٹیل جي تعمير
▶ ننڍو ڊيزائن، ڪمپيڪٽ ڍانچو، جاءِ بچائڻ
▶ بهترين گئس متبادل ۽ خارج ڪرڻ جون خاصيتون
▶ تيز گرمي پد، تيز دٻاءُ، ۽ سنکنرن جي مزاحمتي
▶ اليڪٽرو پالش ٿيل 316L اسٽينلیس اسٽيل هائوسنگ
▶ آسان ۽ ڪارآمد تنصيب ۽ سار سنڀال
▶ مشيني سيلنگ، ساخت جي لحاظ کان وچولي تائين غير ويلڊ ٿيل
ڊيٽا شيٽ
| ٽيڪنيڪل پيرا ميٽرز | قدر |
|---|---|
| فلٽر عنصر مواد | 316L اسٽينلیس سٹیل سينٽرڊ پائوڊر |
| هائوسنگ مواد | 316L اسٽينلیس سٹیل |
| وڌ ۾ وڌ انليٽ پريشر | 3.4 ايم پي اي @ 100 ڊگري سينٽي گريڊ |
| وڌ ۾ وڌ آپريٽنگ فرق | 0.69 ايم پي اي @ 100 ڊگري سينٽي گريڊ |
| هيليم جي تصديق جي ليڪ جي شرح | 1x10⁻¹¹ سي سي/منٽ |
| هيليم ٽيسٽ ليڪ جي شرح | 1x10⁻⁹ سي سي/منٽ |
| مٿاڇري جو علاج | ٻاهرين مٿاڇري را< 1.6 μm |
| اندروني مٿاڇري را< 0.13 μm | |
| وڌ ۾ وڌ آپريٽنگ گرمي پد | 460 ° سي |
| پارٽيڪل انٽرسيپشن ڪارڪردگي | ≥99.9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (حوالو MPPS، سڀ ذرڙا) |
| هيٺاهين صفائي | ذرڙن جي ڇڏڻ:< 0.03 ذرڙا/ليٽر (< 1 ذرڙو/فٽ³) |
| غير مستحڪم:نمي 10 پي پي بي کان گهٽ | |
| پارٽيڪل انٽرسيپشن سائيز | ≥0.003 μm |
| وهڪري جي حد | 0 ~ 120 منٽ في منٽ |
ماپ
هتي پارٽ نمبر آهي جيڪو توهان آرڊر ڪري سگهو ٿا ۽ سائيز جي تفصيل:
| پراڊڪٽ ماڊل | وهڪري جي شرح | اوچائي ايڇ (ايم ايم) | فلٽريشن جي درستگي | صفائي جي سطح |
|---|---|---|---|---|
| زي 01 بي-00637 | 10 وڳي | 51.6 | 0.003 μm | C |
| زي 01 بي-00638 | 40 منٽ | 82.9 | 0.003 μm | C |
| زي 01 بي-00687 | 80 منٽ | 126.2 | 0.003 μm | C |
| زي 01 بي-00688 | 120 منٽ | 167.9 | 0.003 μm | C |
عام ايپليڪيشنون
ڊبليو-سيل ۽ سي-سيل سان استعمال لاءِ، 1.125" ۽ 1.5" مٿاڇري تي ماؤنٽ ماڊيولر گيس پهچائڻ وارا نظام.
اسان ڏانهن پنهنجو پيغام موڪليو:
