سيمي ڪنڊڪٽر جي تياري جي عمل ۾ گيس فلٽر استعمال ڪرڻ جي ضرورت ڇو؟
ڪيترن ئي نازڪ سببن جي ڪري سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي عمل ۾ گيس فلٽر ضروري آهن:
1. آلودگي ختم ڪرڻ
سيمي ڪنڊيڪٽر ٺاھڻ ۾ ڪيترائي حساس عمل شامل آھن جتي ايستائين جو سڀ کان ننڍڙو آلودگي،
جهڙوڪ مٽي جا ذرڙا، نمي، يا ڪيميائي رهجي ويا، نقصانڪار اثر ٿي سگهن ٿا. گيس فلٽر هٽايو
ذرات، نجاست، ۽ فضائي آلودگي کي پروسيس گيسس مان، صاف ماحول کي يقيني بڻائي ٿو
۽ سيمي ڪنڊڪٽر ويفرز جي سالميت کي برقرار رکڻ.
2. الٽرا خالص معيار کي برقرار رکڻ
سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري کي استعمال ٿيندڙ گيسن ۾ انتهائي اعليٰ سطح جي پاڪيزگي جي ضرورت آهي، جيئن نجاست
سيمي ڪنڊڪٽر ڊوائيسز ۾ خرابين جي ڪري. گيس فلٽر الٽرا خالص گئس جي معيار کي حاصل ڪرڻ ۾ مدد ڪن ٿا، روڪڻ
آلودگي ۽ مصنوعات جي استحڪام ۽ اعتبار کي يقيني بڻائڻ.
3. حفاظتي سامان
گيسس ۾ موجود آلودگي نه رڳو سيمي ڪنڊڪٽر ويفرز کي نقصان پهچائي سگھي ٿي پر حساس کي به نقصان پهچائي سگھي ٿي.
پيداوار جي عمل ۾ استعمال ٿيندڙ سامان، جهڙوڪ ڪيميائي وانپ جمع (CVD) ري ايڪٽر ۽
نقاشي نظام. گيس فلٽر انهن قيمتي مشينن کي نقصان کان بچائيندا آهن، خطري کي گهٽائڻ
گھٽ وقت ۽ قيمتي مرمت.
4. پيداوار جي نقصان کي روڪڻ
پيداوار سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ اهم آهي، جتي خرابيون پيداوار ۾ ڪافي نقصان پهچائي سگهن ٿيون.
ايستائين جو هڪ ذرو يا ڪيميائي ناپاڪي جي نتيجي ۾ پيداوار جي نقصان، پيداوار ۽ منافعي کي متاثر ڪري سگهي ٿي.
گيس فلٽر يقيني بڻائين ٿا ته پروسيس گيس خالص آهن، آلودگي کي گھٽائڻ ۽ پيداوار جي نقصان کي گھٽائڻ.
5. پيداوار جي معيار کي يقيني بڻائڻ
استحڪام ۽ معيار سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ اهم آهن. آلوده گيس پيدا ڪري سگھن ٿا
عدم مطابقت، ناقابل اعتبار سيمي ڪنڊڪٽر ڊوائيسز جي ڪري. گئس فلٽر استعمال ڪندي، ٺاهيندڙن ڪري سگھن ٿا
ضمانت ڏئي ٿي ته هر بيچ سخت معيار جي معيار کي پورو ڪري ٿو، اعلي ڊوائيس جي اڳواڻي ۾
ڪارڪردگي ۽ ڊگهي عمر.
6. گھٽائڻ جو وقت
پروسيس گيس ۾ آلودگي سامان جي ناڪامي، سار سنڀال يا متبادل جي ضرورت سبب ڪري سگھي ٿي.
گيس فلٽر استعمال ڪندي، ٺاهيندڙن کي غير متوقع وقت گھٽائي سگھي ٿو، آپريشنل ڪارڪردگي کي برقرار رکڻ، ۽
نازڪ سامان جي عمر کي وڌايو.
7. ڪيميائي مطابقت
سيمي ڪنڊڪٽر جي عملن ۾ استعمال ٿيندڙ ڪيتريون ئي گيسون انتهائي رد عمل يا corrosive آهن. گئس فلٽر آهن
انهن سخت ڪيميائي ماحول کي منهن ڏيڻ لاءِ ٺهيل آهي جڏهن ته مؤثر طريقي سان نجاست کي فلٽر ڪرڻ، يقيني بڻائڻ
محفوظ ۽ موثر پروسيسنگ.
مجموعي طور تي، گيس فلٽر سيمي ڪنڊڪٽر جي پاڪيزگي، اعتبار ۽ حفاظت کي برقرار رکڻ لاءِ اهم آهن.
پيداوار جي عمل، اعلي معيار حاصل ڪرڻ ۾ مدد ڪندي، عيب کان آزاد سيمڪوڊڪٽر پروڊڪٽس جڏهن ته
قيمتي سامان جي حفاظت پڻ.
گئس فلٽر جا قسم سيمي ڪنڊڪٽر جي تياري جي عمل ۾
سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي عمل ۾، مختلف قسم جا گئس فلٽر استعمال ڪيا ويا آهن مختلف کي پتو ڏيڻ لاء
گئس جي پاڪائي ۽ سامان جي تحفظ سان لاڳاپيل مرحلن ۽ چئلينج.
عام طور تي استعمال ٿيل گئس فلٽرن جا قسم شامل آهن:
1. ذرات جا فلٽر
* مقصد: پروسيس گيسس مان ذرات، مٽي، ۽ ٻين مضبوط آلودگي کي هٽائڻ لاء.
* استعمال: اڪثر مختلف مرحلن تي نصب ٿيل آهن ويفرز، پروسيس چيمبرز، ۽ سامان کي ذخيري آلودگي کان بچائڻ لاء.
* مواد: عام طور تي sintered stainless اسٽيل، PTFE، يا ٻين مواد مان ٺهيل آهن جيڪي استحڪام ۽ ڪيميائي مطابقت کي يقيني بڻائين.
2. ماليڪيولر يا ڪيميائي فلٽر (Getter Filters)
* مقصد: مخصوص ماليڪيولر آلودگي کي ختم ڪرڻ، جهڙوڪ نمي، آڪسيجن، يا نامياتي مرکبات، جيڪي پروسيس گيسس ۾ موجود هوندا.
* استعمال: استعمال ڪيو ويندو آهي جڏهن اعلي-پاڪيشن گيس جي ضرورت هوندي آهي، جهڙوڪ جمع ڪرڻ يا ايچنگ جي عمل دوران.
* مواد: اڪثر ڪري چالو ٿيل چارڪو، زيولائٽ، يا ٻيو جذب ڪندڙ مواد استعمال ڪندي خاص طور تي ماليڪيولر نجاست کي ڇڪڻ لاءِ ٺهيل آهي.
3. هاء-پاڪ گئس فلٽر
* مقصد: الٽرا هاءِ پيورٽي (UHP) گيس معيار حاصل ڪرڻ لاءِ، جيڪو سيمي ڪنڊڪٽر جي عملن لاءِ نازڪ آهي، جتي ٿوري ناپاڪي پيداوار جي معيار کي متاثر ڪري سگهي ٿي.
* استعمال: اهي فلٽر پروسيس ۾ استعمال ڪيا ويندا آهن جهڙوڪ ڪيميائي واپر جمع (CVD) ۽ پلازما ايچنگ، جتي نجاست سنگين خرابين جو سبب بڻجي سگهي ٿي.
* مواد: اعلي دٻاء ۽ انتهائي حالتن هيٺ سالميت برقرار رکڻ لاء خاص جھلي سان stainless اسٽيل مان ٺهيل.
4. بلڪ گيس فلٽر
* مقصد: داخل ٿيڻ واري نقطي تي يا پيداوار واري لائنن ۾ ورهائڻ کان اڳ گيس کي صاف ڪرڻ.
* استعمال: گيس جي ترسيل نظام ۾ اپ اسٽريم کي جاءِ ڏني وئي آهي ته جيئن انهن کي انفرادي اوزارن يا ري ايڪٽرن کي فراهم ڪرڻ کان اڳ گيس کي فلٽر ڪيو وڃي.
* مواد: اهي فلٽر اڪثر گيس جي وڏي مقدار کي سنڀالڻ جي اعلي صلاحيت رکن ٿا.
5. پوائنٽ آف يوز (POU) گيس فلٽر
* مقصد: انهي ڳالهه کي يقيني بڻائڻ لاءِ ته هر مخصوص پروسيسنگ ٽول تائين پهچائيندڙ گيس ڪنهن به آلودگي کان پاڪ آهن.
* استعمال: انسٽال ٿيل صرف ان کان اڳ جو گيس پروسيس جي سامان ۾ متعارف ڪرايو وڃي، جهڙوڪ ايچنگ يا ذخيرو چيمبر.
* مواد: اهڙي مواد مان ٺهيل آهي جيڪي سيمي ڪنڊڪٽر جي عملن ۾ استعمال ٿيندڙ رد عمل واري گيسن سان مطابقت رکن ٿيون، جهڙوڪ sintered metal يا PTFE.
6. ان لائن گيس فلٽر
* مقصد: ورهائڻ واري نظام ذريعي هلندڙ گيس لاءِ ان لائن فلٽريشن مهيا ڪرڻ.
* استعمال: گيس لائينن اندر اھم پوائنٽن تي نصب، سڄي سسٽم ۾ جاري فلٽريشن مهيا ڪري ٿي.
* مواد: sintered stainless اسٽيل يا nickel گئس سان ڪيميائي مطابقت کي يقيني بڻائڻ لاء.
7. مٿاڇري جبل گيس فلٽر
* مقصد: ذرات ۽ ماليڪيولر آلودگي کي ختم ڪرڻ لاءِ گئس پينل جي اجزاء تي سڌو سنئون نصب ڪيو وڃي.
* استعمال: تنگ جڳهن ۾ عام، اهي فلٽر نازڪ ايپليڪيشنن ۾ موثر پوائنٽ جي استعمال واري فلٽريشن مهيا ڪن ٿا.
* مواد: اعلي پائيدار اسٽينلیس سٹیل لاء استحڪام ۽ مطابقت لاء سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار گيس سان.
8. ذيلي مائڪرو فلٽر
* مقصد: انتهائي ننڍڙن ذرڙن کي فلٽر ڪرڻ لاءِ، اڪثر ڪري ذيلي مائڪرون سائيز جيترا ننڍا، جيڪي اڃا تائين سيمي ڪنڊڪٽر جي عملن ۾ اهم نقص پيدا ڪري سگھن ٿا.
* استعمال: استعمال ٿيل عملن ۾ جيڪي اعلي سطحي فلٽريشن جي ضرورت هونديون آهن الٽرا خالص گيس جي فراهمي کي برقرار رکڻ لاء، جهڙوڪ فوٽوولوگرافي.
* مواد: اعلي کثافت وارو sintered ڌاتو يا سيرامڪ مواد جيڪي مؤثر طور تي ننڍڙن ذرڙن کي به ڦاسائي سگهن ٿا.
9. چالو ڪاربن فلٽر
* مقصد: نامياتي آلودگي ۽ غير مستحڪم گيس کي ختم ڪرڻ لاء.
* استعمال: استعمال ٿيل ايپليڪيشنن ۾ جتي گيس جي نجاست کي هٽائڻ جي ضرورت آهي ته جيئن ويفر آلودگي يا رد عمل جي خرابين کي روڪڻ لاء.
* مواد: چالو ڪاربن مواد جيڪي نامياتي ماليڪيولز کي جذب ڪرڻ لاءِ ٺهيل آهن.
10.Sintered ڌاتو گئس فلٽر
* مقصد: ذرات ۽ نجاست کي مؤثر طريقي سان هٽائڻ لاءِ جڏهن ته ساخت جي طاقت ۽ اعليٰ دٻاءُ جي مزاحمت پيش ڪندي.
* استعمال: وڏي پيماني تي استعمال ڪيو ويو ڪيترن ئي مرحلن ۾ سيمي ڪنڊڪٽر پروسيس جي جتي مضبوط فلٽرنگ ضروري آهي.
* مواد: عام طور تي سخت ماحول ۽ ڪيميائي کي منهن ڏيڻ لاء sintered اسٽينلیس سٹیل يا ٻين ڌاتو مصر جو ٺهيل آهي.
11.هائيڊروفوبڪ گيس فلٽر
* مقصد: نمي يا پاڻي جي بخار کي گئس جي وهڪري ۾ داخل ٿيڻ کان روڪڻ لاءِ، جيڪو ڪجهه خاص عملن ۾ نازڪ هوندو آهي، جيڪي نمي جي مقدار کي نشانو بڻائڻ لاءِ به حساس هوندا آهن.
* استعمال: اڪثر ڪري استعمال ٿيندڙ عملن جهڙوڪ ويفر خشڪ ڪرڻ يا پلازما ايچنگ.
* مواد: هائيڊروفوبڪ جھلي، جهڙوڪ PTFE، انهي ڳالهه کي يقيني بڻائڻ ته گيس نمي جي آلودگي کان آزاد رهي.
اهي مختلف قسم جا گئس فلٽر احتياط سان چونڊيا ويا آهن انهن جي مخصوص خاصيتن، مواد جي مطابقت، ۽ سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي عمل جي منفرد حالتن لاءِ موزونيت جي بنياد تي. فلٽر جو صحيح ميلاپ ضروري آهي ته اعلي سطحي گيس جي پاڪائي کي برقرار رکڻ، عمل جي استحڪام کي يقيني بڻائڻ، ۽ سيمي ڪنڊڪٽر ڊوائيسز ۾ خرابين کي روڪڻ لاء.
سيمي ڪنڊڪٽر گيس فلٽر بابت ڪجھ سوال
اڪثر سوال 1:
سيمڪڊڪٽر گيس فلٽر ڇا آهن ۽ اهي ڇو اهم آهن؟
سيمڪڊڪٽر گيس فلٽر سيمڪڊڪٽر جي پيداوار جي عمل ۾ نازڪ جزا آهن.
اهي پروسيس گيسز مان تڪليف ۽ آلودگي کي ختم ڪرڻ لاء ٺهيل آهن، جهڙوڪآڪسيجن,
نائٽروجن، هائڊروجن ۽ مختلف ڪيميائي گيس.
اهي نجاست خاص طور تي اثر انداز ڪري سگهن ٿيون معيار، پيداوار، ۽ سيمي ڪنڊڪٽر ڊوائيسز جي اعتبار.
مؤثر طريقي سان گئس اسٽريمز کي فلٽر ڪرڻ سان، سيمڪڊڪٽر گيس فلٽر مدد ڪن ٿا:
1. اعلي پاڪائي برقرار رکڻ:
انهي ڳالهه کي يقيني بڻايو وڃي ته پيداوار جي عمل ۾ استعمال ٿيندڙ گئسون آلودگي کان پاڪ آهن جيڪي ڊوائيس جي ڪارڪردگي کي خراب ڪري سگهن ٿيون.
2. سامان جي نقصان کي روڪڻ:
حساس سيمي ڪنڊڪٽر سامان کي ذرو ۽ ڪيميائي آلودگي کان بچايو، جيڪو قيمتي وقت ۽ مرمت جي ڪري سگھي ٿو.
3. پيداوار جي پيداوار کي بهتر ڪريو:
نقصن ۽ ناڪامين کي گھٽايو گيس جي پيدا ٿيندڙ ناپاڪيءَ جي ڪري، جنهن جي نتيجي ۾ پيداوار ۾ وڌيڪ اضافو ٿئي ٿو.
4. ڊوائيس جي اعتبار کي وڌايو:
آلودگي سان لاڳاپيل مسئلن جي ڪري سيمي ڪنڊڪٽر ڊوائيسز جي ڊگھي مدت جي تباهي کي گھٽايو.
اڪثر سوال 2:
سيمي ڪنڊڪٽر گئس فلٽر جا عام قسم ڪهڙا آهن؟
ڪيترن ئي قسمن جا گيس فلٽر استعمال ڪيا ويندا آهن سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾، هر هڪ کي هٽائڻ لاءِ ٺهيل آهي
خاص قسم جي آلودگي.
سڀ کان وڌيڪ عام قسم شامل آهن:
1. ذرات جا فلٽر:
اهي فلٽر مضبوط ذرات کي هٽائي ڇڏيندا آهن، جهڙوڪ مٽي، فائبر، ۽ ڌاتو ذرات، گئس جي وهڪري مان.
اهي عام طور تي مواد مان ٺهيل آهن جهڙوڪ sintered ڌاتو، سيرامڪ، يا جھلي فلٽر.
2. ڪيميائي فلٽر:
اهي فلٽر ڪيميائي نجاست کي ختم ڪن ٿا، جهڙوڪ پاڻي جي بخارات، هائيڊرو ڪاربن، ۽ corrosive گيس.
اهي اڪثر ڪري جذب يا جذب جي اصولن تي ٻڌل آهن، مواد استعمال ڪندي جهڙوڪ چالو ڪاربان،
molecular sieves، يا ڪيميائي sorbents.
3. گڏيل فلٽر:
اهي فلٽر ذرات ۽ ڪيميائي فلٽرن جي صلاحيتن کي گڏ ڪن ٿا ته جيئن ٻنهي قسمن جي فلٽرن کي ختم ڪري سگهجي.
آلودگي. اهي اڪثر ڪري نازڪ ايپليڪيشنن ۾ استعمال ٿيندا آهن جتي اعلي پاڪائي ضروري آهي.
اڪثر سوال 3:
سيمي ڪنڊڪٽر گيس فلٽر ڪيئن چونڊيل ۽ ٺهيل آهن؟
سيمي ڪنڊڪٽر گيس فلٽر جي چونڊ ۽ ڊيزائن ۾ ڪيترائي عنصر شامل آهن، جن ۾ شامل آهن:
* گيس جي صفائي جي گهرج:
مخصوص گيس جي وهڪري لاء پاڪائي جي گهربل سطح فلٽر جي فلٽريشن ڪارڪردگي ۽ گنجائش کي طئي ڪري ٿي.
* وهڪري جي شرح ۽ دٻاء:
فلٽر ٿيڻ واري گئس جو مقدار ۽ آپريٽنگ پريشر فلٽر جي سائيز، مواد ۽ ترتيب تي اثر انداز ٿئي ٿو.
* آلودگي جو قسم ۽ ڪنسنٽريشن:
گئس جي وهڪري ۾ موجود آلودگي جا مخصوص قسم فلٽر ميڊيا جي چونڊ ۽ ان جي سوراخ جي سائيز کي ترتيب ڏين ٿا.
* درجه حرارت ۽ نمي:
آپريٽنگ حالتون فلٽر جي ڪارڪردگي ۽ عمر کي متاثر ڪري سگهن ٿيون.
* لاڳت ۽ سار سنڀال:
فلٽر جي شروعاتي قيمت ۽ ان جي جاري سار سنڀال جي ضرورتن تي غور ڪيو وڃي.
انهن فڪٽرن تي غور سان غور ڪندي، انجنيئر گئس فلٽر کي چونڊي ۽ ڊزائين ڪري سگهن ٿا جيڪي مخصوص ملن ٿا
هڪ سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي عمل جي ضرورت آهي.
سيميڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ گيس فلٽر کي ڪيترا ڀيرا تبديل ڪيو وڃي؟
سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ گيس فلٽر جي بدلي جي تعدد ڪيترن ئي عنصر تي منحصر آهي، جنهن ۾ قسم
عمل، آلودگي جي سطح، ۽ فلٽر جو مخصوص قسم استعمال ڪيو پيو وڃي. عام طور تي، گئس فلٽر باقاعده طور تي تبديل ڪيا ويا آهن
آلودگي جي ڪنهن به خطري کي روڪڻ لاء سار سنڀال جو شيڊول،اڪثر هر 6 کان 12 مهينن تائين, استعمال جي حالتن تي منحصر ڪري ٿو
۽ فلٽر ٺاهيندڙ کان سفارشون.
بهرحال، متبادل شيڊول وڏي پيماني تي مختلف ٿي سگهن ٿا آپريٽنگ ماحول جي بنياد تي. مثال طور:
* اعليٰ آلودگي وارو عمل:
فلٽر کي وڌيڪ بار بار تبديل ڪرڻ جي ضرورت پئجي سگھي ٿي جيڪڏهن اهي اعلي سطح تي ظاهر ڪيا وڃن
ذرات يا ماليڪيولر آلودگي.
* نازڪ ايپليڪيشنون:
عملن ۾ جيڪي تمام اعلي پاڪائي جي طلب ڪن ٿا (مثال طور، فوٽوولوگرافي)، فلٽر اڪثر تبديل ڪيا ويندا آهن
اڳ ۾ ئي يقيني بڻائڻ لاءِ ته گئس جي معيار سان سمجهوتو نه ڪيو وڃي.
فلٽر جي وچ ۾ فرق جي دٻاء جي نگراني ڪرڻ هڪ عام طريقو آهي اهو طئي ڪرڻ لاء جڏهن فلٽر کي تبديل ڪرڻ جي ضرورت آهي.
جيئن آلودگي جمع ٿيندي آهي، فلٽر جي وچ ۾ دٻاء جو دٻاء وڌائي ٿو، ڪارڪردگي ۾ گهٽتائي جو اشارو آهي.
اهو ضروري آهي ته فلٽر کي تبديل ڪرڻ کان اڳ انهن جي ڪارڪردگي ۾ گهٽتائي، ڇاڪاڻ ته گئس جي پاڪائي ۾ ڪنهن به خلاف ورزي اهم نقص پيدا ڪري سگهي ٿي،
پيداوار کي گھٽائڻ، ۽ اڃا به سامان جي نقصان جي ڪري.
سيمي ڪنڊڪٽر ايپليڪيشنن لاءِ گيس فلٽر ڪهڙي مواد مان ٺهيل آهن؟
گيس فلٽر سيمي ڪنڊڪٽر ايپليڪيشنن ۾ استعمال ٿيل مواد مان ٺهيل آهن جيڪي اعلي معيار جي معيار کي برقرار رکي سگهن ٿيون
۽ پيداوار ۾ مليل سخت ماحول کي منهن ڏيڻ. عام مواد شامل آهن:
اسٽينلیس سٹیل (316L): سڀ کان وڏي پيماني تي استعمال مواد ان جي ڪيميائي مزاحمت جي ڪري، مشيني طاقت، ۽
sintering ٽيڪنالاجي استعمال ڪندي درست پور جي سائز سان ٺاھڻ جي صلاحيت. اهو ٻنهي رد عمل کي فلٽر ڪرڻ لاء مناسب آهي
۽ غير فعال گيس.
PTFE (Polytetrafluoroethylene): PTFE هڪ ڪيميائي طور تي غير فعال مواد آهي جيڪو انتهائي رد عمل يا corrosive کي فلٽر ڪرڻ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي
گيس اهو بهترين ڪيميائي مطابقت ۽ هائيڊروفوبڪ ملڪيت آهي، ان کي نمي-حساس ڪرڻ لاء مثالي بڻائي ٿو
عمل.
* نڪيل ۽ هيسٽلائي:
اهي مواد استعمال ڪيا ويندا آهن تيز گرمي جي ايپليڪيشنن لاءِ يا عملن لاءِ جن ۾ جارحتي ڪيميائي شامل آهن
جتي اسٽينلیس سٹیل خراب ٿي سگهي ٿي.
* سرامڪ:
سيرامڪ فلٽر ايپليڪيشنن لاءِ استعمال ڪيا ويندا آهن جتي انتهائي حرارت جي مزاحمت جي ضرورت هوندي آهي، يا ذيلي مائڪروون لاءِ
ذرات جي فلٽريشن.
مواد جي چونڊ تي دارومدار گئس جي قسم، رد عمل جي قسمن جي موجودگي، گرمي پد ۽
ٻيا عمل پيراگراف. مواد کي لازمي طور تي غير رد عمل هجڻ گهرجي انهي کي يقيني بڻائڻ لاءِ ته اهي ڪنهن به نجاست کي متعارف نه ڪن
يا ذرڙا پروسيس ۾ داخل ٿين ٿا، اهڙيءَ طرح سيمي ڪنڊڪٽر ٺهڻ لاءِ گهربل گيس جي صفائي جي سطح کي برقرار رکڻ.
سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ پوائنٽ آف يوز (POU) فلٽر جو ڪردار ڇا آهي؟
پوائنٽ آف يوز (POU) فلٽر سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ ضروري آهن، جيئن اهي يقيني بڻائين ته گيس کي فوري طور تي صاف ڪيو وڃي
عمل جا اوزار داخل ڪرڻ. اهي فلٽر آلودگي جي خلاف حتمي حفاظت فراهم ڪن ٿيون جيڪي شايد گئس جي وهڪري ۾ داخل ٿين ٿيون
اسٽوريج، نقل و حمل، يا ورڇ دوران، انهي سان گڏ عمل جي استحڪام ۽ پيداوار جي معيار کي وڌايو.
POU فلٽر جا اهم فائدا:
* نازڪ سامان جي ويجهو رکيل (مثال طور، ايچنگ يا جمع ڪرڻ واري چيمبر) آلودگي کي ويفر تائين پهچڻ کان روڪڻ لاء.
*ٻئي ذرات ۽ ماليڪيولر نجاست کي هٽايو جيڪي گئس هينڊلنگ سسٽم يا ماحولياتي نمائش ذريعي متعارف ٿي سگھن ٿيون.
* پڪ ڪريو ته سڀ کان وڌيڪ ممڪن گئس جي معيار کي پروسيس ٽول تائين پهچايو ويو آهي، سامان جي حفاظت ۽ ٺاهيل ڊوائيسز جي معيار کي وڌائڻ.
* عمل جي تبديلي کي گھٽايو، پيداوار وڌايو، ۽ خرابي جي سطح کي گھٽايو.
*ناگزير ترقي يافته سيمي ڪنڊڪٽر ماحول ۾ جتي ننڍيون تڪليفون به خاص طور تي پيداوار ۽ پيداوار جي اعتبار کي متاثر ڪري سگهن ٿيون.
گيس فلٽر سيميڪنڊڪٽر پروسيس ۾ سامان جي گھٽتائي کي ڪيئن روڪيندا آهن؟
گيس فلٽر سيمي ڪنڊڪٽر جي عملن ۾ سامان جي گھٽتائي کي روڪيندا آهن انهي کي يقيني بڻائي ته پروسيس گيس مسلسل آزاد آهن
آلودگي جيڪا پيداوار جي سامان کي نقصان پهچائي سگھي ٿي. Semiconductor fabrication شامل آهي انتهائي استعمال
حساس سامان، بشمول جمع چيمبرز، پلازما ايچنگ مشينون، ۽ فوٽو ليٿوگرافي سسٽم.
جيڪڏهن آلودگي جهڙوڪ مٽي، نمي، يا رد عمل واري نجاست انهن مشينن ۾ داخل ٿئي ٿي، اهي مسئلا جو هڪ سلسلو پيدا ڪري سگهن ٿا،
بند ٿيل والوز ۽ نوزز کان وٺي ويفر جي سطحن يا ري ايڪٽر جي اندروني حصن کي نقصان پهچائڻ تائين.
اعلي معيار جي گيس فلٽر استعمال ڪندي، ٺاهيندڙن کي انهن آلودگي جي تعارف کي روڪڻ، امڪان کي گهٽائڻ.
اڻ رٿيل سار سنڀال ۽ سامان جي خرابي. هي مستحڪم پيداوار جي شيڊول کي برقرار رکڻ ۾ مدد ڪري ٿو، گھٽ ۾ گھٽ
قيمتي وقت، ۽ مرمت يا متبادل سان لاڳاپيل اهم خرچن کان بچڻ.
ان کان علاوه، چڱي طرح برقرار رکڻ وارا فلٽر اهم اجزاء جي عمر کي وڌائڻ ۾ مدد ڪن ٿا، جهڙوڪ فلو ڪنٽرولرز، والوز، ۽ ريڪٽرز،
انهي سان گڏ پيداوار جي عمل جي مجموعي ڪارڪردگي ۽ منافعي کي وڌائڻ.
تنهن ڪري چڪاس ڪرڻ کان پوءِ ڪجهه تفصيلن جي باري ۾ سيمي ڪنڊڪٽر گيس فلٽر، جيڪڏهن اڃا توهان وٽ ڪجهه وڌيڪ سوال آهن.
اعلي معيار جي گئس فلٽريشن حلن سان توهان جي سيمڪڊڪٽر جي پيداوار واري عمل کي بهتر ڪرڻ لاءِ تيار آهيو؟
توهان جي ضرورتن کي پورو ڪرڻ لاءِ ماهرن جي رهنمائي ۽ ڪسٽمائيز حلن لاءِ اڄ HENGKO سان رابطو ڪريو.
چڪاس ڪرڻ کان پوءِ ڪجهه تفصيلن جي معلومات سيمي ڪنڊڪٽر گئس فلٽر بابت، جيڪڏهن توهان وٽ وڌيڪ سوال آهن؟
اعلي معيار جي گئس فلٽريشن حلن سان توهان جي سيمڪڊڪٽر جي پيداوار واري عمل کي بهتر ڪرڻ لاءِ تيار آهيو؟
توهان جي ضرورتن کي پورو ڪرڻ لاءِ ماهرن جي رهنمائي ۽ ڪسٽمائيز حلن لاءِ اڄ HENGKO سان رابطو ڪريو.
اسان تي اي ميل ڪريوka@hengko.comوڌيڪ معلومات لاءِ.
اسان جي ٽيم هتي آهي توهان جي پيداوار جي ڪارڪردگي ۽ پيداوار جي معيار کي وڌائڻ ۾ مدد لاءِ.